應用

1、在數(shù)控機床檢定中的應用

中圖儀器SJ6000金屬平面激光干涉儀品牌可用于精密機床定位精度、重復定位精度,、微量位移精度的測量，為機床誤差修正提供依據(jù),。軟件內(nèi)置10項常用機床檢驗標準,。使用激光干涉儀檢測機床各項誤差并進行修正是傳統(tǒng)測量手段難以實現(xiàn)的技術，是大幅度提高數(shù)控機床的加工精度的關鍵措施,。

2,、在三坐標檢測中的應用

SJ6000激光干涉儀搭配其鏡組和輔件可檢測三坐標測量機的位移精度、直線度,、垂直度,。隨著當代制造業(yè)對加工速度的要求提升，三坐標測量機各結構件由于高速運行產(chǎn)生機構變形,，導致的動態(tài)誤差不可忽略,。使用激光干涉儀對三坐標測量機進行靜態(tài)誤差、動態(tài)誤差測量和補償,，對提升測量精度具有重要意義,。

3、在位移傳感器中的應用

利用激光干涉儀對位移傳感器檢定為發(fā)展趨勢,，其特點是反應速度快,、測量精度高，是位移傳感器實現(xiàn)高精度校準的重要手段,。

4,、與其他鏡組配合的應用

SJ6000金屬平面激光干涉儀品牌與不同光學組件結合，可以實現(xiàn)距離,、角度,、直線度、垂直度,、平行度,、平面度等參數(shù)的測量，具有高精度,、效率高,。

測量方法

1,、進行線性測量的一般步驟 ：

 （1）安裝設置激光干涉儀

 （2）將激光束與被測量的軸校準

 （3）啟動測量軟件，并輸入相關參數(shù)（如材料膨脹系數(shù)）,。

 （4）在機床上輸入測量程序,，啟動干涉儀測量，并記錄數(shù)據(jù),。

 （5）用測量軟件分析測量數(shù)據(jù),，生產(chǎn)補償文件。

2,、光束快速準直步驟 ：

 （1）沿著運動軸將反射鏡與干涉鏡分開,。

 （2）移動機床工作臺，當光束離開光靶外圓時停止移動,。

垂直光束調(diào)整：

 （3）使用激光頭后方的指形輪使兩道光束回到相同的高度,。

 （4）使用三腳架中心主軸上的高度調(diào)整輪使激光頭上下旋轉，直到兩道光束都擊中光靶中心,。

水平光束調(diào)整：

 （5）用三腳架左后方的小旋鈕，調(diào)整激光頭的角度偏轉,，使兩道光束彼此重疊,。

 （6）用三腳架左邊中間的大旋鈕，調(diào)整激光頭的水平位置,，使兩道光束擊中光靶的中心,。

 （7）沿著運動軸重新開始移動機床工作臺。在看到光束移開光靶時再次停止,。重復步驟3到6,，直到完成整個軸向的光鏡準直。

 （8）達到軸的末端時,，將機床移回,，使反光鏡及線性反射鏡互相靠近。注：若其中一道光束離開光閘的光靶,，是由于反光鏡側向偏移所造成,。上下左右移動反光鏡，使從反光鏡返回的光束與干涉鏡的光束在光閘的光靶上互相重疊,。

 重復步驟1到8,，直到兩道光束在整個運動軸長度范圍內(nèi)都保持在光靶的中心。

 （9）保持光束和測量軸準直,。將光閘旋轉到其測量位置,。當反光鏡沿著機床的整個運動長度移動時，檢查線性數(shù)據(jù)采集軟件中顯示的信號強度,。